Пласціна зроблена з чыстага крэмнію (Si).Як правіла, пласціны падзеленыя на 6-цалевыя, 8-цалевыя і 12-цалевыя спецыфікацыі, вырабляюцца на аснове гэтай пласціны.Крамянёвыя пласціны, атрыманыя з паўправаднікоў высокай чысціні з дапамогай такіх працэсаў, як выцягванне і нарэзка крышталяў, называюцца пласцінамі becaвыкарыстоўваць яны маюць круглую форму.Розныя структуры элементаў схемы могуць быць апрацаваны на крамянёвых пласцінах, каб стаць прадуктамі з пэўнымі электрычнымі ўласцівасцямі.прадукты функцыянальнай інтэгральнай схемы.Пласціны праходзяць шэраг працэсаў вытворчасці паўправаднікоў для фарміравання надзвычай малых схемных структур, а затым разразаюцца, пакуюцца і выпрабоўваюцца ў мікрасхемы, якія шырока выкарыстоўваюцца ў розных электронных прыладах.Вафельныя матэрыялы перажылі больш чым 60-гадовую тэхналагічную эвалюцыю і прамысловае развіццё, утварыўшы прамысловую сітуацыю, у якой дамінуе крэмній і дапаўняецца новымі паўправадніковымі матэрыяламі.
80% мабільных тэлефонаў і кампутараў у свеце вырабляецца ў Кітаі.Кітай абапіраецца на імпарт для 95% сваіх высокапрадукцыйных чыпаў, таму Кітай штогод марнуе 220 мільярдаў долараў ЗША на імпарт чыпаў, што ў два разы перавышае гадавы імпарт нафты Кітаем.Усё абсталяванне і матэрыялы, звязаныя з фоталітаграфічнымі машынамі і вытворчасцю мікрасхем, такія як пласціны, металы высокай чысціні, машыны для тручэння і г.д.
Сёння мы коратка пагаворым аб прынцыпе сцірання вафельных машын УФ-прамянямі.Пры запісе даных неабходна ўвесці зарад у плаваючую засаўку, падаючы да засаўкі высокае напружанне VPP, як паказана на малюнку ніжэй.Паколькі ўведзены зарад не мае энергіі, каб прабіцца праз энергетычную сценку плёнкі аксіду крэмнію, ён можа толькі падтрымліваць статус-кво, таму мы павінны даць зараду пэўную колькасць энергіі!Вось тады і патрэбен ультрафіялет.
Калі плаваючы затвор атрымлівае ультрафіялетавае апрамяненне, электроны ў плаваючым затворе атрымліваюць энергію квантаў ультрафіялетавага святла, і электроны становяцца гарачымі электронамі з энергіяй, каб пранікаць праз энергетычную сценку плёнкі аксіду крэмнію.Як паказана на малюнку, гарачыя электроны пранікаюць праз плёнку аксіду крэмнія, цякуць да падкладкі і засаўкі і вяртаюцца ў сцёрты стан.Аперацыя сцірання можа быць выканана толькі пры атрыманні ультрафіялетавага апрамянення, і не можа быць сціраная электронным спосабам.Іншымі словамі, колькасць бітаў можа быць зменена толькі з «1» на «0» і ў адваротным кірунку.Няма іншага спосабу, як сцерці ўсё змесціва чыпа.
Мы ведаем, што энергія святла зваротна прапарцыйная даўжыні хвалі святла.Для таго, каб электроны сталі гарачымі электронамі і, такім чынам, мелі энергію, каб пракрасціся праз аксідную плёнку, вельмі неабходна апраменьванне святлом з меншай даўжынёй хвалі, гэта значыць ультрафіялетавымі прамянямі.Паколькі час сцірання залежыць ад колькасці фатонаў, час сцірання нельга скараціць нават пры больш кароткіх даўжынях хваль.Як правіла, сціранне пачынаецца, калі даўжыня хвалі складае каля 4000 А (400 нм).У асноўным ён дасягае насычэння каля 3000А.Ніжэй 3000A, нават калі даўжыня хвалі карацейшая, гэта не паўплывае на час сцірання.
Стандарт для УФ-сцірання, як правіла, прымае ўльтрафіялетавыя прамяні з дакладнай даўжынёй хвалі 253,7 нм і інтэнсіўнасцю ≥16000 мкВт /см².Аперацыя сцірання можа быць завершана пры экспазіцыі ад 30 хвілін да 3 гадзін.
Час публікацыі: 22 снежня 2023 г